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装置サンプル−１（動画）　（６インチウェハ・リソーター）
ファイル名 説明 サイズ(MB)
　AllAutoMoveMode.wmv 　フルオート移載モード 　６．４
　DivMode_1.wmv 　分割モード１ 　２．７
　DivMode_2.wmv 　分割モード２ 　４．９
　LotTwoDivMode.wmv 　ロット２分割モード 　３．２
　LotUnionMode.wmv 　ロット統合モード 　９．２
　ManualMoveMode.wmv 　マニュアル移載モード 　３．５
　NumCheckMode.wmv 　ナンバーチェックモード 　２．９
　PointAutoMoveMode.wmv 　任意指定自動移載モード 　５．８
　RecipeAutoMoveMode.wmv 　レシピ指定自動移載モード 　４．６

装置サンプル−１（画像）　（６インチウェハ・リソーター）
ファイル名 説明 サイズ(MB)
　resorter_diagram.pdf 　ＣＡＤ図面 　０．４


装置サンプル−２（動画）　（５インチウェハ・オート・チャージャ）
ファイル名 説明 サイズ(MB)
　Charge_In.wmv 　チャージ・イン １６．５
　Charge_Out.wmv 　チャージ・アウト １９．５


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